GB/T 39516-2020
マイクロ・ナノ標準テンプレート（幾何量） (英語版)

規格番号

GB/T 39516-2020

言語

中国語版, 英語で利用可能

制定年

2020

出版団体

国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会

最新版

GB/T 39516-2020

範囲

この規格は、マイクロおよびナノ標準サンプル（幾何量）の用語と定義、種類と基本パラメータ、要件、検査条件、検査方法、マーキング、輸送および保管を規定します。 この規格は、線間隔0.05μm～10μmのマイクロ・ナノワイヤ間隔標準サンプル、段差0.01μm～100μmのマイクロ・ナノ段差標準サンプル、膜厚2nmに適用されます。 線幅25nm～1000nmのナノ膜厚標準サンプルとナノメートル線幅標準サンプル。

GB/T 39516-2020 発売履歴

• 2020 GB/T 39516-2020 マイクロ・ナノ標準テンプレート（幾何量）