DIN EN 62047-5:2012-03
半導体デバイス - 微小電気機械デバイス - パート 5: RF MEMS スイッチ
- 規格番号
- DIN EN 62047-5:2012-03
- 制定年
- 2012
- 出版団体
- German Institute for Standardization
- 最新版
- DIN EN 62047-5:2012-03
DIN EN 62047-5:2012-03 発売履歴
- 2012 DIN EN 62047-5:2012-03 半導体デバイス - 微小電気機械デバイス - パート 5: RF MEMS スイッチ
- 2012 DIN EN 62047-5:2012 半導体デバイス、微小電気機械デバイス、パート 5: 無線周波数 (RF) 微小電気機械システム (MEMS) スイッチ (IEC 62047-5-2011)、ドイツ語版 EN 62047-5-2011
- 0000 DIN IEC 62047-5:2008
