DIN EN 62047-10:2012-03
半導体デバイス - マイクロ電気機械デバイス - パート 10: MEMS 材料のマイクロピラー圧縮試験
- 規格番号
- DIN EN 62047-10:2012-03
- 制定年
- 2012
- 出版団体
- German Institute for Standardization
- 最新版
- DIN EN 62047-10:2012-03
DIN EN 62047-10:2012-03 発売履歴
- 2012 DIN EN 62047-10:2012-03 半導体デバイス - マイクロ電気機械デバイス - パート 10: MEMS 材料のマイクロピラー圧縮試験
- 2012 DIN EN 62047-10:2012 半導体デバイス、微小電気機械デバイス、パート 10: MEMES 材料の微小極圧縮試験 (IEC 62047-10-2011)、ドイツ語版 EN 62047-10-2011
- 0000 DIN IEC 62047-10:2010
