T/ICMTIA 5.3-2020
集積回路用ArFフォトレジストフォトリソグラフィー検出法 (英語版)

規格番号

T/ICMTIA 5.3-2020

言語

中国語版, 英語で利用可能

制定年

2020

出版団体

Group Standards of the People's Republic of China

最新版

T/ICMTIA 5.3-2020

範囲

この文書は、ArF フォトレジストのフォトリソグラフィーのテスト要件と方法、テスト基準、パッケージング、輸送、保管、および環境保護要件を指定します。

T/ICMTIA 5.3-2020 発売履歴

• 2020 T/ICMTIA 5.3-2020 集積回路用ArFフォトレジストフォトリソグラフィー検出法