DIN 50450-1:1987-08
半導体技術材料試験、キャリアガスおよびドーピングガス中の不純物の測定、五酸化リン電池における水中の水素、酸素、窒素、アルゴン、およびヘリウム中の不純物の測定

規格番号

DIN 50450-1:1987-08

制定年

1987

出版団体

German Institute for Standardization

最新版

DIN 50450-1:1987-08

DIN 50450-1:1987-08 発売履歴

• 1987 DIN 50450-1:1987-08 半導体技術材料試験、キャリアガスおよびドーピングガス中の不純物の測定、五酸化リン電池における水中の水素、酸素、窒素、アルゴン、およびヘリウム中の不純物の測定
• 1987 DIN 50450-1:1987 半導体プロセス材料の検査 キャリアガスおよび添加ガス中の不純物の測定 五酸化リンセルを使用した水素、酸素、窒素、アルゴン、ヘリウム中の水の不純物の測定