ASTM F614-80(1991)e1
フォトマスク製造時に使用される光学レンズの歪みの試験方法

規格番号

ASTM F614-80(1991)e1

制定年

1991

出版団体

American Society for Testing and Materials (ASTM)

最新版

ASTM F614-80(1991)e1

ASTM F614-80(1991)e1 発売履歴

• 1991 ASTM F614-80(1991)e1 フォトマスク製造時に使用される光学レンズの歪みの試験方法