T/CASAS 032-2023
誘導結合プラズマ質量分析法による炭化ケイ素ウェーハ表面の金属元素含有量の測定 (英語版)

規格番号

T/CASAS 032-2023

言語

中国語版, 英語で利用可能

制定年

2023

出版団体

Group Standards of the People's Republic of China

最新版

T/CASAS 032-2023

範囲

この文書には、誘導結合プラズマ質量分析法による炭化ケイ素ウェーハの表面の金属元素含有量の測定方法が記載されています。 この文書は、炭化ケイ素単結晶研磨ウェーハおよびシリコンの表面上の微量金属ナトリウム、アルミニウム、カリウム、カルシウム、スカンジウム、チタン、バナジウム、クロム、マンガン、鉄、コバルト、ニッケル、銅、亜鉛、銀、タングステンに適用されます。 超硬エピタキシャルウェーハ 金、水銀などの元素の含有量を測定し、測定範囲は108cm-2～1012cm-2です。 この文書は、100mm (4 インチ) ～ 200mm (8 インチ) の炭化ケイ素生ウェーハ、炭化ケイ素アニールウェーハなどのパターン化されていない炭化ケイ素ウェーハの表面の微量金属元素含有量の測定に適しています。 注: 炭化ケイ素ウェーハの表面の金属元素含有量は、平方センチメートルあたりの原子数で測定されます。

T/CASAS 032-2023 発売履歴

• 2023 T/CASAS 032-2023 誘導結合プラズマ質量分析法による炭化ケイ素ウェーハ表面の金属元素含有量の測定