DB35/T 1146-2011
グロー放電質量分析法によるシリコン材料中の不純物元素含有量の測定 (英語版)

規格番号

DB35/T 1146-2011

言語

中国語版, 英語で利用可能

制定年

2011

出版団体

Fujian Provincial Standard of the People's Republic of China

最新版

DB35/T 1146-2011

範囲

この規格は、グロー放電質量分析法によるシリコン材料中の不純物元素含有量の測定に関連する用語と定義、原理、試薬と材料、機器と装置、サンプル要件、サンプル要件、分析手順、結果の計算、および許容偏差を指定します ( GDMS)。 この規格は、純度99.99999%以下のシリコン材料中の不純物元素Li、Be、B、Na、Mg、A1、P、K、Th、Uおよびその他の元素の測定に適用されます。

DB35/T 1146-2011 発売履歴

• 2011 DB35/T 1146-2011 グロー放電質量分析法によるシリコン材料中の不純物元素含有量の測定