ASTM F907-85(1992)e1
フォトレジストのスピンコーティングに使用されるウェーハの回転加速度測定試験方法

規格番号

ASTM F907-85(1992)e1

制定年

1996

出版団体

American Society for Testing and Materials (ASTM)

最新版

ASTM F907-85(1992)e1

ASTM F907-85(1992)e1 発売履歴

• 1996 ASTM F907-85(1992)e1 フォトレジストのスピンコーティングに使用されるウェーハの回転加速度測定試験方法
• 0000 ASTM F907-85E01