YS/T 1290-2018
ガスクロマトグラフィーによる多結晶シリコン製造排ガス中のシラン含有量の測定 (英語版)

規格番号

YS/T 1290-2018

言語

中国語版, 英語で利用可能

制定年

2018

出版団体

工业和信息化部

最新版

YS/T 1290-2018

YS/T 1290-2018 発売履歴

• 2018 YS/T 1290-2018 ガスクロマトグラフィーによる多結晶シリコン製造排ガス中のシラン含有量の測定