GB/T 37049-2018
誘導結合プラズマ質量分析による電子グレードのポリシリコン中のマトリックス金属不純物含有量の測定 (英語版)

規格番号

GB/T 37049-2018

言語

中国語版, 英語で利用可能

制定年

2018

出版団体

国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会

最新版

GB/T 37049-2018

GB/T 37049-2018 発売履歴

• 2018 GB/T 37049-2018 誘導結合プラズマ質量分析による電子グレードのポリシリコン中のマトリックス金属不純物含有量の測定