ISO/FDIS 21360-5:2023
真空技術 真空ポンプの性能を測定するための標準的な方法 第 5 部: 非蒸発性ゲッター (NEG) 真空ポンプ

規格番号

ISO/FDIS 21360-5:2023

制定年

2023

出版団体

International Organization for Standardization (ISO)

最新版

ISO/FDIS 21360-5:2023

ISO/FDIS 21360-5:2023 発売履歴

• 2023 ISO/FDIS 21360-5:2023 真空技術 真空ポンプの性能を測定するための標準的な方法 第 5 部: 非蒸発性ゲッター (NEG) 真空ポンプ