KS D 0259-2012(2022)
シリコンウェーハの厚さ、厚さのばらつき、曲がりの測定方法

規格番号

KS D 0259-2012(2022)

制定年

2012

出版団体

Korean Agency for Technology and Standards (KATS)

最新版

KS D 0259-2012(2022)

KS D 0259-2012(2022) 発売履歴

• 2022 KS D 0259-2022 シリコンウェーハの厚み、厚みばらつき、反りの測定方法
• 0000 KS D 0259-2012(2017)
• 2012 KS D 0259-2012 シリコンウェーハの厚さ、厚さのばらつき、および曲率を測定する方法
• 0000 KS D 0259-2007