T/ZGM 003-2022
半導体産業における末端濾過膜エレメントの品質分類と「リーダー」評価要件 (英語版)

規格番号

T/ZGM 003-2022

言語

中国語版, 英語で利用可能

制定年

2022

出版団体

Group Standards of the People's Republic of China

状態

入れ替わる 2023-09

に置き換えられる

T/ZGM 003-2023

最新版

T/ZGM 003-2024

範囲

半導体洗浄、接着剤開発、エッチングプロセスに適しています。 プロセス要件を満たすには、微多孔性フィルター膜の厚さ、フラックス、バブルポイント、金属溶解度、および NVR 溶解度が必要です。

T/ZGM 003-2022 発売履歴

• 2024 T/ZGM 003-2024 グリーン製品家庭用飲料水処理装置
• 2023 T/ZGM 003-2023 飲料水処理用浸漬中空糸限外濾過膜モジュールの品質分類と「リーダー」評価要件
• 2022 T/ZGM 003-2022 半導体産業における末端濾過膜エレメントの品質分類と「リーダー」評価要件
• 2021 T/ZGM 003-2021 限外濾過膜の「リーダー」標準評価要件