T/IAWBS 018-2022
ダイヤモンド単結晶研磨ウェーハの転位密度の試験方法 (英語版)

規格番号
T/IAWBS 018-2022
言語
中国語版, 英語で利用可能
制定年
2022
出版団体
Group Standards of the People's Republic of China
最新版
T/IAWBS 018-2022
範囲
ダイヤモンド単結晶の材料性能特性に基づいて、国内外のサファイアなどの他の単結晶の転位密度検出技術の現在の研究レベルと組み合わせて、この規格は、ダイヤモンド単結晶の試験原理、測定精度保証、および測定手順を提供します。 ダイヤモンド単結晶研磨ウェーハの転位密度などが規定されています。

T/IAWBS 018-2022 発売履歴

  • 2022 T/IAWBS 018-2022 ダイヤモンド単結晶研磨ウェーハの転位密度の試験方法



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