ASTM F40-83
- 規格番号
- ASTM F40-83
- 制定年
- 1970
- 出版団体
- /
- 最新版
- ASTM F40-83
- 範囲
- 1.1 この方法は、制御された標準化された条件下で半導体アプリケーション用のシリコン単結晶を成長させるための手順 (チョクラルスキー法) をカバーしています 1.2 結晶は電気的、物理的、およびその他のパラメータの測定によって評価できますか? i.3 この規格には危険物、作業が含まれる可能性がありますこの規格は、その使用に関連するすべての安全上の問題に対処することを目的とするものではありません。 適切な安全衛生慣行を調整および確立し、私に先立って厳しい制限への適用可能性を判断するのは、この規格を使用する者の責任です。 セクション 6 に記載されています。
ASTM F40-83 規範的参照
ASTM F40-83 発売履歴
- 1970 ASTM F40-83
