T/DLSHXH 007-2022
電子特殊ガス トリフルオロヨードメタン (英語版)

規格番号

T/DLSHXH 007-2022

言語

中国語版, 英語で利用可能

制定年

2022

出版団体

Group Standards of the People's Republic of China

最新版

T/DLSHXH 007-2022

範囲

この規格は、トリフルオロヨードメタンの技術要件、試験方法、検査規則、マーキング、梱包、保管および輸送、および安全情報要件を指定します。 この規格は、工業グレードのトリフルオロヨードメタンを原料として製造され、蒸留によって精製されたトリフルオロヨードメタン製品に適用されます。 本製品は主に半導体蒸着処理室やプラズマエッチングの洗浄に使用されます。

T/DLSHXH 007-2022 発売履歴

• 2022 T/DLSHXH 007-2022 電子特殊ガス トリフルオロヨードメタン
• 2020 T/DLSHXH 007-2020 エレクトロニクス産業用ガス状酸硫化炭素
• 2017 T/DLSHXH 007-2017 断熱ガラス乾燥剤