IEC 62276:2016
単結晶シリコンウェーハデバイスの表面弾性波（Saw）用途 - 仕様と測定方法

規格番号

IEC 62276:2016

制定年

2016

出版団体

International Electrotechnical Commission (IEC)

最新版

IEC 62276:2016

範囲

この文書は、弾性表面波の製造における基板として使用することを目的とした合成石英@ニオブ酸リチウム (LN)@タンタル酸リチウム (LT)@四ホウ酸リチウム (LBO)@ およびケイ酸ランタンガリウム (LGS) 単結晶ウェーハの製造に適用されます。 (SAW) フィルターと共振器。

IEC 62276:2016 発売履歴

• 2016 IEC 62276:2016 単結晶シリコンウェーハデバイスの表面弾性波（Saw）用途 - 仕様と測定方法
• 2012 IEC 62276:2012 弾性表面波（SAW）デバイス用単結晶ウェーハ 仕様と測定方法
• 2005 IEC 62276:2005 弾性表面波デバイス用単結晶ウェーハ 仕様と測定方法