BS IEC 62047-30:2017
半導体デバイス微小電気機械デバイスMEMS圧電膜電気機械変換特性測定方法

規格番号

BS IEC 62047-30:2017

制定年

2017

出版団体

British Standards Institution (BSI)

最新版

BS IEC 62047-30:2017

範囲

BS IEC 62047 ‑ 30 - MEMS 圧電薄膜とは何ですか? BS IEC 62047 は、微小電気機械デバイスを含む半導体デバイスについて議論する国際規格です。 IEC 62047 シリーズの主な目的は、半導体技術に携わる企業に、デバイスやコンポーネントの信頼性と性能を実証するための最高の業界技術を提供することです。 BS IEC 62047 ‑ 30 は 30 です

BS IEC 62047-30:2017 発売履歴

• 2017 BS IEC 62047-30:2017 半導体デバイス微小電気機械デバイスMEMS圧電膜電気機械変換特性測定方法