ISO 1608-1:1993
蒸気真空ポンプの性能特性測定その1：体積流量（排気速度）の測定

規格番号

ISO 1608-1:1993

制定年

1993

出版団体

International Organization for Standardization (ISO)

最新版

ISO 1608-1:1993

範囲

測定では、拡散ポンプ、エジェクター ポンプ、ブースター ポンプ、つまり分子流領域と層流領域の両方で動作可能なポンプを扱います。

ISO 1608-1:1993 発売履歴

• 1993 ISO 1608-1:1993 蒸気真空ポンプの性能特性測定その1：体積流量（排気速度）の測定
• 1980 ISO 1608-1:1980 蒸気真空ポンプ 性能特性の測定 その1：体積流量（ポンプ速度）の測定