ASTM F2074-00 規格と仕様

範囲: 1.1 このガイドは、周囲に平坦部またはノッチを含むシリコンおよびその他の半導体材料の円形ウェーハの直径を測定するための標準化された位置を定義します。これは、SEMI 仕様 M1 に規定されている標準直径およびフラット位置のシリコンウェーハで使用するために開発されました。 1.2 平坦な位置を適切に考慮すれば、他の半導体ウェーハにも適用できる可能性があります。 1.3 適切なテスト治具と機器が利用可能であれば、あらゆるサイズのウェーハを測定できます。 1.4 ウェーハの真円度は、このガイドで定義されている位置でのみ行われた測定から決定することはできません。測定された点以外のウェーハの直径に関する情報は提供されません。

ASTM F2074-00 発売履歴