DIN EN 62047-20:2015-04
半導体デバイス - 微小電気機械デバイス - パート 20: ジャイロスコープ (IEC 62047-20:2014)

規格番号

DIN EN 62047-20:2015-04

制定年

2015

出版団体

German Institute for Standardization

最新版

DIN EN 62047-20:2015-04

DIN EN 62047-20:2015-04 発売履歴

• 2015 DIN EN 62047-20:2015-04 半導体デバイス - 微小電気機械デバイス - パート 20: ジャイロスコープ (IEC 62047-20:2014)
• 2015 DIN EN 62047-20:2015 半導体装置 微小電気機械装置 パート 20: ジャイロスコープ (IEC 62047-20:2014)、ドイツ語版 EN 62047-20:2014
• 1970 DIN EN 62047-20 E:2012-07 半導体デバイス - 微小電気機械デバイス - パート 20: ジャイロスコープ
• 0000 DIN EN 62047-20:2012