T/AHEMA 23-2022
MEMS VOC ガスセンサーの技術要件 (英語版)

規格番号

T/AHEMA 23-2022

言語

中国語版, 英語で利用可能

制定年

2022

出版団体

Group Standards of the People's Republic of China

最新版

T/AHEMA 23-2022

範囲

4 技術要件 環境要件 4.1.1 湿度要件 試験サンプルの湿度試験を実施します。 試験中、サンプルは正常に動作し、4.2 の要件を満たします。 4.1.2 温度要件 試験サンプルは低温、常温、高温で試験され、試験中サンプルは正常に動作し、4.2 の要件を満たします。 4.1.3 大気圧要件 試験サンプルはさまざまな大気圧下で試験されますが、試験中、サンプルは正常に動作し、4.2 の要件を満たします。 外観要件 a) センサチップの外観、各部のサイズ、加工品質は図面要件に適合する。 b) パッケージ化されたデバイスは図面要件に準拠しており、安全に設置されています。 c) パッケージ化されたデバイスには、亀裂、損傷、破損などがあってはならない。 d) 検査のためにセンサーの電源が入っているとき、表示される電圧と電流の表示は一定の範囲内に留まっている必要があります。 性能要件 4.3.1 安定性 MEMS VOC gas センサーを複数回測定し、標準値と比較します。 同じセンサーの相対標準偏差は ±5% を超えてはならず、異なるセンサーの相対標準偏差は ±5% を超えてはなりません。 同一バッチ内での誤差は±10%以下である必要があります。 4.3.2 応答時間 (T90) MEMS VOC ガス センサーの応答時間は 30 秒以下です。 4.3.3 回復時間 (T10) MEMS VOC ガス センサーの回復時間は 60 秒以下です。 4.3.4 応答誤差 VOC ガスセンサーチップの場合、センサーの応答誤差は濃度基準点の ±10% 以下です。 4.3.5 感度要件: エタノールガス中の MEMS VOC センサーの感応体の抵抗と清浄な空気中の抵抗の比は ≥10 です。 4.3.6 耐干渉性能: テストサンプルに対して妨害ガステストを実施します。 テスト中、サンプルは妨害ガスの影響を受けず、正常に動作し、4.2 の要件を満たします。 4.3.7 耐落下性能: パッケージ状態のガスセンサーチップを落下試験に供し、試験後の製品は無傷であり、4.2 の要件を満たします。 感応体の抵抗値を式で換算すると感応体の抵抗値が得られ、その値は[50KΩ～300KΩ]の範囲で表されます。 式は5.4に示します。

T/AHEMA 23-2022 発売履歴

• 2022 T/AHEMA 23-2022 MEMS VOC ガスセンサーの技術要件