NF EN 62047-16:2015
半導体デバイス、微小電気機械デバイス、パート 16: MEMS フィルムの残留応力を測定するための試験方法、ウェーハの曲率およびカンチレバーのたわみ方法

規格番号

NF EN 62047-16:2015

制定年

2015

出版団体

Association Francaise de Normalisation

最新版

NF EN 62047-16:2015

NF EN 62047-16:2015 発売履歴

• 2015 NF EN 62047-16:2015 半導体デバイス、微小電気機械デバイス、パート 16: MEMS フィルムの残留応力を測定するための試験方法、ウェーハの曲率およびカンチレバーのたわみ方法