DB53/T 501-2013
誘導結合プラズマ質量分析法による多結晶シリコン中のトリクロロシラン不純物元素の定量 (英語版)

規格番号

DB53/T 501-2013

言語

中国語版, 英語で利用可能

制定年

2013

出版団体

Yunnan Provincial Standard of the People's Republic of China

最新版

DB53/T 501-2013

範囲

この規格は、誘導結合プラズマ質量分析法により、多結晶シリコンのトリクロロシラン中のホウ素、鉄、アルミニウム、カルシウム、銅、クロム、ニッケル、アンチモン、コバルト、亜鉛、錫、チタン、マンガンの不純物元素の含有量を測定する方法を規定しています。 この規格は、変性法による多結晶シリコンの製造に使用されるトリクロロシラン中のホウ素、鉄、アルミニウム、カルシウム、銅、クロム、ニッケル、アンチモン、コバルト、亜鉛、錫、チタン、マンガンの不純物元素の含有量の測定に適用されます。 シーメンス方式。

DB53/T 501-2013 発売履歴

• 2013 DB53/T 501-2013 誘導結合プラズマ質量分析法による多結晶シリコン中のトリクロロシラン不純物元素の定量