T/WLJC 58-2019
ウェーハ精密研削盤用修正砥石 (英語版)

規格番号

T/WLJC 58-2019

言語

中国語版, 英語で利用可能

制定年

2019

出版団体

Group Standards of the People's Republic of China

最新版

T/WLJC 58-2019

範囲

規格名の「研削盤」とは、ウェーハ両面研削盤の上下の研削盤を指します。 修正ホイールはねずみ鋳鉄またはダクタイル鋳鉄でできており、鋳鉄砥石のドレッシングに使用されます。 形状は歯車状で厚さは25～40mm、表裏に削り溝があります。 この規格では、修正車の一般的に使用される 6 つの構造タイプと、外輪の外径と厚さの寸法、歯数、モジュールの 6 つの仕様が規定されています。 修正車の3つの指標の規格に定められた寸法公差は、国内第一級、そして世界的にも高い技術レベルを表しています。 1) この規格に従って、修正車の作業面全体の平面度は ≤0.02mm でなければなりません; 2) この規格に従って、修正車の表裏の平行度は ≤0.005mm でなければなりません; 3) 4または 6 つの修正ホイール それぞれがグループであり、グループ内の修正ホイール間の厚さの誤差は、この規格に従って ≤0.02mm でなければなりません。

T/WLJC 58-2019 発売履歴

• 2019 T/WLJC 58-2019 ウェーハ精密研削盤用修正砥石