T/CSTM 01199-2024
多層金属薄膜の層構造測定・解析方法 X線光電子分光法 (英語版)

規格番号

T/CSTM 01199-2024

言語

中国語版, 英語で利用可能

制定年

2024

出版団体

Group Standards of the People's Republic of China

最新版

T/CSTM 01199-2024

範囲

この文書は、X 線光電子分光法 (XPS) 深さ方向プロファイリングを使用して多層金属薄膜の層構造を測定するための分析方法を規定しています。 この文書は、深さ 70nm ～ 240nm 内のナノスケール多層金属薄膜の組成、化学状態、膜厚の特性評価に適しています。

T/CSTM 01199-2024 発売履歴

• 2024 T/CSTM 01199-2024 多層金属薄膜の層構造測定・解析方法 X線光電子分光法