T/CHBAS 36-2023
集積回路用混合ガス 100ppm水素/ネオン (英語版)

規格番号

T/CHBAS 36-2023

言語

中国語版, 英語で利用可能

制定年

2023

出版団体

Group Standards of the People's Republic of China

最新版

T/CHBAS 36-2023

範囲

この文書は、集積回路用の 100ppm 水素/ネオン混合ガスの技術要件、試験方法、検査規則、マーキング、ラベル表示、梱包、輸送、保管、および安全要件を指定します。 この文書は、集積回路用の 100ppm 水素/ネオン混合ガス (以下、100ppm 水素/ネオンと呼びます) に適用されますが、他の成分比率の水素とネオンの混合ガスも参照により実装できます。

T/CHBAS 36-2023 発売履歴

• 2023 T/CHBAS 36-2023 集積回路用混合ガス 100ppm水素/ネオン