IEC 63068-3:2020
半導体デバイス パワーデバイス用炭化珪素ホモエピタキシャルウェーハの非破壊欠陥識別規格 第3部 フォトルミネッセンス法による欠陥検出試験方法

規格番号
IEC 63068-3:2020
制定年
2020
出版団体
International Electrotechnical Commission (IEC)
最新版
IEC 63068-3:2020

IEC 63068-3:2020 発売履歴

  • 2020 IEC 63068-3:2020 半導体デバイス パワーデバイス用炭化珪素ホモエピタキシャルウェーハの非破壊欠陥識別規格 第3部 フォトルミネッセンス法による欠陥検出試験方法
半導体デバイス パワーデバイス用炭化珪素ホモエピタキシャルウェーハの非破壊欠陥識別規格 第3部 フォトルミネッセンス法による欠陥検出試験方法



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