KS M 9900-2007
クリーンルーム内の浮遊粒子濃度を測定する空気清浄化方法及びクリーンルーム評価方法

規格番号
KS M 9900-2007
制定年
2007
出版団体
Korean Agency for Technology and Standards (KATS)
状態
に置き換えられる
KS M 9900-2008
最新版
KS M 9900-2008

KS M 9900-2007 発売履歴

  • 2008 KS M 9900-2008 クリーンルーム浮遊粒子測定法及びクリーンルーム空気清浄度評価法
  • 2007 KS M 9900-2007 クリーンルーム内の浮遊粒子濃度を測定する空気清浄化方法及びクリーンルーム評価方法



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