UNE-EN 62047-16:2015
半導体デバイス 微小電気機械デバイス パート 16: MEMS フィルムの残留応力を測定するための試験方法 ウェーハの曲率およびカンチレバーのたわみ方法

規格番号

UNE-EN 62047-16:2015

制定年

2015

出版団体

ES-UNE

最新版

UNE-EN 62047-16:2015

UNE-EN 62047-16:2015 発売履歴

• 2015 UNE-EN 62047-16:2015 半導体デバイス 微小電気機械デバイス パート 16: MEMS フィルムの残留応力を測定するための試験方法 ウェーハの曲率およびカンチレバーのたわみ方法