DIN EN 62047-17:2015-12
半導体デバイス - 微小電気機械デバイス - 第 17 部: 薄膜の機械的特性を測定するためのバンプテスト方法
- 規格番号
- DIN EN 62047-17:2015-12
- 制定年
- 2015
- 出版団体
- German Institute for Standardization
- 最新版
- DIN EN 62047-17:2015-12
DIN EN 62047-17:2015-12 発売履歴
- 2015 DIN EN 62047-17:2015-12 半導体デバイス - 微小電気機械デバイス - 第 17 部: 薄膜の機械的特性を測定するためのバンプテスト方法
- 1970 DIN EN 62047-17 E:2011-06 半導体デバイス - 微小電気機械デバイス - 第 17 部: 薄膜の機械的特性を測定するためのバルジ試験方法
