T/CZSBDTHYXH 001-2023
半導体ウェーハ欠陥自動光学検査装置 (英語版)

規格番号

T/CZSBDTHYXH 001-2023

言語

中国語版, 英語で利用可能

制定年

2023

出版団体

Group Standards of the People's Republic of China

最新版

T/CZSBDTHYXH 001-2023

範囲

この規格は、半導体ウェーハ欠陥光学検出器の用語と定義、製品モデル、要件、検査方法、検査規則、マーキング、パッケージング、輸送、保管要件を規定しています。

T/CZSBDTHYXH 001-2023 発売履歴

• 2023 T/CZSBDTHYXH 001-2023 半導体ウェーハ欠陥自動光学検査装置