T/NXCL 016-2022
200 mm 高アンチモンドープチョクラルスキーシリコン単結晶研磨ウェーハ (英語版)
- 規格番号
- T/NXCL 016-2022
- 言語
- 中国語版, 英語で利用可能
- 制定年
- 2022
- 出版団体
- Group Standards of the People's Republic of China
- 最新版
- T/NXCL 016-2022
- 範囲
- この文書は、製品の分類、技術的要件、試験方法、検査仕様とマーク、梱包、輸送、保管などの内容、注文書（または契約書）の内容と品質を規定します。 約束。 技術要件には、原材料、物理的特性、化学組成、幾何学的パラメータ、酸化による欠陥、表面品質、エッジプロファイルなどが含まれます。 試験方法には、導電性タイプ、比抵抗、比抵抗変化、格子間酸素含有量、放射状酸素含有量、炭素含有量、表面金属含有量、体内金属（鉄）含有量、直径結晶方位および結晶方位偏差、厚さおよび総厚さの変化、測定または検査が含まれます。 曲率、反り、平坦度および局所的な平坦度、酸化による欠陥、表面品質、局所的な光散乱体（微粒子汚染）およびエッジプロファイル測定の方法。 検査規則は工場検査と型式検査に分かれます。
T/NXCL 016-2022 発売履歴
- 2022 T/NXCL 016-2022 200 mm 高アンチモンドープチョクラルスキーシリコン単結晶研磨ウェーハ
