KS I ISO 14644-7:2020
クリーン ルームおよび関連する管理環境 - パート 7: 分離装置 (クリーン エア フード、グローブ ボックス アイソレータおよびミニ環境)

規格番号

KS I ISO 14644-7:2020

制定年

2020

出版団体

Korean Agency for Technology and Standards (KATS)

最新版

KS I ISO 14644-7:2020

KS I ISO 14644-7:2020 発売履歴

• 2020 KS I ISO 14644-7:2020 クリーン ルームおよび関連する管理環境 - パート 7: 分離装置 (クリーン エア フード、グローブ ボックス アイソレータおよびミニ環境)
• 2005 KS I ISO 14644-7:2005 クリーンルームおよび関連する制御環境 パート 7: 分離装置 (クリーン エア フード、グローブ ボックス、分離器、および微小環境)