GB/T 42271-2022
半絶縁性炭化珪素単結晶の比抵抗の非接触検査方法 (英語版)

規格番号

GB/T 42271-2022

言語

中国語版, 英語で利用可能

制定年

2022

出版団体

General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China

最新版

GB/T 42271-2022

範囲

この文書には、半絶縁性炭化ケイ素単結晶の抵抗率を非接触で測定する方法が記載されています。 この文書は、抵抗率が 1×105 Ω・cm から 1×1012 Ω・cm までの範囲の半絶縁性炭化ケイ素単一ウェーハの測定に適用されます。

GB/T 42271-2022 規範的参照

• GB/T 14264 半導体材料用語
• GB/T 30656 炭化珪素単結晶研磨ウェハ*， 2023-03-17 更新するには

GB/T 42271-2022 発売履歴

• 2022 GB/T 42271-2022 半絶縁性炭化珪素単結晶の比抵抗の非接触検査方法