T/DLSHXH 006-2022
電子特殊ガストリメチルアルミニウム (英語版)

規格番号

T/DLSHXH 006-2022

言語

中国語版, 英語で利用可能

制定年

2022

出版団体

Group Standards of the People's Republic of China

最新版

T/DLSHXH 006-2022

範囲

この規格は、トリメチルアルミニウムの技術要件、試験方法、検査規則、梱包、マーキング、保管、輸送および安全性情報を規定しています。 この規格は、工業グレードのトリメチルアルミニウムを原料として使用し、蒸留および精製して製造された最終トリメチルアルミニウムに適用されます。 この製品は主に原子層蒸着プロセスで使用されます。

T/DLSHXH 006-2022 発売履歴

• 2022 T/DLSHXH 006-2022 電子特殊ガストリメチルアルミニウム
• 2020 T/DLSHXH 006-2020 電子産業用ガス硫化水素
• 2017 T/DLSHXH 006-2017 ハイソリッドエポキシ樹脂防錆塗料