SJ/T 31100-1994
イオンビームエッチング装置の完全性要件と検査および評価方法 (英語版)

規格番号

SJ/T 31100-1994

言語

中国語版, 英語で利用可能

制定年

1994

出版団体

Professional Standard - Electron

最新版

SJ/T 31100-1994

範囲

この規格は、半導体デバイスの製造に使用されるイオンビームエッチング装置の完全性要件と検査および評価方法を規定しています。 この規格は、電子製品の製造や科学研究で使用されるイオン ビーム エッチング装置に適用されます。

SJ/T 31100-1994 発売履歴

• 1994 SJ/T 31100-1994 イオンビームエッチング装置の完全性要件と検査および評価方法