SJ/T 11131-1997
蒸着装置の基本パラメータシリーズ (英語版)

規格番号

SJ/T 11131-1997

言語

中国語版, 英語で利用可能

制定年

1997

出版団体

Professional Standard - Electron

最新版

SJ/T 11131-1997

交換する

SJ 1098-1977 SJ 1099-1977

範囲

この規格は蒸着成膜装置の基本パラメータシリーズを規定したものです。 この規格は到達圧力が3×10^(-3)P|(a) ～ 5×10^(-6)P|(a)の範囲のベル型およびボックス型の蒸着塗装装置に適用されます。 。

SJ/T 11131-1997 発売履歴

• 1997 SJ/T 11131-1997 蒸着装置の基本パラメータシリーズ
• 0000 SJ 1099-1977