SJ/T 11275-2002
横型液相エピタキシー装置の一般仕様 (英語版)
- 規格番号
- SJ/T 11275-2002
- 言語
- 中国語版, 英語で利用可能
- 制定年
- 2002
- 出版団体
- Professional Standard - Electron
- 最新版
- SJ/T 11275-2002
- 範囲
- この仕様書は、水平液相エピタキシー装置の用語、製品モデルと命名方法、技術要件、試験方法、検査規則、梱包、輸送、および保管方法を規定します。 この仕様は、エレクトロニクス産業における光電子デバイスの開発および製造プロセスにおける水平液相エピタキシャル システムに適用されます。 他業界の同様の設備も参考として導入できます。
SJ/T 11275-2002 発売履歴
- 2002 SJ/T 11275-2002 横型液相エピタキシー装置の一般仕様
