SJ 2065-1982
半導体デバイス製造に使用される拡散炉の試験方法 (英語版)

規格番号

SJ 2065-1982

言語

中国語版, 英語で利用可能

制定年

1982

出版団体

Professional Standard - Electron

最新版

SJ 2065-1982

SJ 2065-1982 発売履歴

• 1982 SJ 2065-1982 半導体デバイス製造に使用される拡散炉の試験方法