SJ/T 31061-1994
砥石ダイシングマシンの完全性要件と検査・評価方法 (英語版)

規格番号

SJ/T 31061-1994

言語

中国語版, 英語で利用可能

出版団体

Professional Standard - Electron

最新版

SJ/T 31061-1994

範囲

この規格は、半導体シリコンウェーハ、石英、セラミックスなどを切断・分離する砥石ダイシングマシンの完全性要件と検査・評価方法を規定したものです。 この規格は、モデル 1006 および DISO-5 砥石ダイシング マシン、および同様の構造を持つ他のモデルの砥石ダイシング マシンに適用されます。 この規格の関連規定も参照してください。

SJ/T 31061-1994 発売履歴

• 1970 SJ/T 31061-1994 砥石ダイシングマシンの完全性要件と検査・評価方法