SJ/T 10627-1995
格子間酸素含有量の減少を測定することによりシリコンウェーハの酸素析出特性を評価する方法 (英語版)
- 規格番号
- SJ/T 10627-1995
- 言語
- 中国語版, 英語で利用可能
- 制定年
- 1995
- 出版団体
- Professional Standard - Electron
- 状態
- 2010-02
- 最新版
- SJ/T 10627-1995
- 範囲
- この規格は、0.1Ωを超える室温抵抗率に適用されます。 cm N 型または P 型チョクラルスキー シリコン ウェーハ、その熱サイクルは単一温度または二重温度にすることができます。
SJ/T 10627-1995 発売履歴
- 1995 SJ/T 10627-1995 格子間酸素含有量の減少を測定することによりシリコンウェーハの酸素析出特性を評価する方法
