SJ/Z 2926-1988
集積回路製版装置の性能試験方法 (英語版)
- 規格番号
- SJ/Z 2926-1988
- 言語
- 中国語版, 英語で利用可能
- 制定年
- 1988
- 出版団体
- Professional Standard - Electron
- 最新版
- SJ/Z 2926-1988
- 範囲
- このガイド技術文書は、自動彫刻（描画）機、パターンジェネレーター、縮小カメラの 3 種類の光製版装置の主な性能試験方法に適用されます。 テストの目的は、機器の技術的性能指標が元の設計または使用要件を満たしているかどうかを確認することです。 この指導技術文書に規定されていない性能試験方法については、各種機器の技術文書に別途規定するものとする。
SJ/Z 2926-1988 発売履歴
- 1988 SJ/Z 2926-1988 集積回路製版装置の性能試験方法
