SJ/T 31092-1994
ウェーハCNC切断（ダイシング）マシンの完全性要件と検査および評価方法 (英語版)

規格番号

SJ/T 31092-1994

言語

中国語版, 英語で利用可能

出版団体

Professional Standard - Electron

最新版

SJ/T 31092-1994

範囲

この規格は、ウェーハ CNC 切断 (ダイシング) マシンの完全性要件と検査および評価方法を指定します。 この規格は、ESEC・8003 タイプの CNC 切断（ダイシング）装置に適用されますが、同様の構造を持つ他のタイプの CNC 切断（ダイシング）装置も、この規格の関連規定を参照して実装できます。

SJ/T 31092-1994 発売履歴

• 1970 SJ/T 31092-1994 ウェーハCNC切断（ダイシング）マシンの完全性要件と検査および評価方法