T/NXCL 015-2022
シリコン部品用柱状ポリシリコン (英語版)
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T/NXCL 015-2022
規格番号
T/NXCL 015-2022
言語
中国語版,
英語で利用可能
制定年
2022
出版団体
Group Standards of the People's Republic of China
最新版
T/NXCL 015-2022
範囲
この文書は、シリコン部品用の柱状ポリシリコンの用語と定義、技術的要件、試験方法、検査仕様、マーキング、梱包、輸送、保管などを規定します。 技術要件には、基本要件、原材料、化学組成、物理的特性、粒子形態、介在物が含まれます。 試験方法には、化学組成分析法、物性検査法、粒子形態および介在物検出法などがあります。 検査ルールには、検査と受入、バッチのグループ分け、検査項目、調停サンプリングとサンプルの準備、検査結果の判定が含まれます。
T/NXCL 015-2022 発売履歴
2022
T/NXCL 015-2022
シリコン部品用柱状ポリシリコン
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