SJ/T 31082-1994
真空コーティング装置の完全性要件と検査および評価方法 (英語版)

規格番号

SJ/T 31082-1994

言語

中国語版, 英語で利用可能

出版団体

Professional Standard - Electron

最新版

SJ/T 31082-1994

範囲

この規格は、真空成膜装置の完全性要件と検査および評価方法を規定しています。 到達圧力1×10^(-5)～1×10^(-4)paの範囲の各種真空成膜装置に適用可能な規格です。

SJ/T 31082-1994 発売履歴

• 1970 SJ/T 31082-1994 真空コーティング装置の完全性要件と検査および評価方法