SJ/T 31108-1994
CG3000 単結晶炉の完全性要件と検査および評価方法 (英語版)
- 規格番号
- SJ/T 31108-1994
- 言語
- 中国語版, 英語で利用可能
- 出版団体
- Professional Standard - Electron
- 状態
- 2010-02
- 最新版
- SJ/T 31108-1994
- 範囲
- この規格は、CG-3000 単結晶炉の完全性要件と検査および評価方法を規定しています。 この規格は、半導体デバイス製造用の単結晶炉に適用されます。
SJ/T 31108-1994 発売履歴
- 1970 SJ/T 31108-1994 CG3000 単結晶炉の完全性要件と検査および評価方法
