SJ/T 31107-1994
ZDS-1型電気泳動装置の健全性要求事項と検査・評価方法 (英語版)
- 規格番号
- SJ/T 31107-1994
- 言語
- 中国語版, 英語で利用可能
- 出版団体
- Professional Standard - Electron
- 状態
- 2010-02
- 最新版
- SJ/T 31107-1994
- 範囲
- この規格は、ZDS-1 電気泳動装置の完全性要件と検査および評価方法を指定します。 この規格は、半導体デバイスの製造に使用される ZDS-1 と同様の電気泳動装置に適用されます。
SJ/T 31107-1994 発売履歴
- 1970 SJ/T 31107-1994 ZDS-1型電気泳動装置の健全性要求事項と検査・評価方法
