SJ/T 10312-1992
電子ビーム露光機の一般的な技術条件 (英語版)
- 規格番号
- SJ/T 10312-1992
- 言語
- 中国語版, 英語で利用可能
- 制定年
- 1992
- 出版団体
- Professional Standard - Electron
- 最新版
- SJ/T 10312-1992
- 範囲
- この規格は、電子ビーム露光機の用語、技術的要件、試験方法、検査規則などを規定したものです。 この規格は、集積回路、マイクロ波デバイス、光電子デバイス、表面弾性波デバイスなどの微細パターンを製造するための電子ビーム露光機に適用されます。
SJ/T 10312-1992 発売履歴
- 1992 SJ/T 10312-1992 電子ビーム露光機の一般的な技術条件
